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인텔이 IMS 나노 제조 사업부의 지분 10%를 TSMC에 매각합니다. 매각 후에도 인텔은 IMS의 대부분을 소유하며 계속해서 독립된 자회사로 운영됩니다.
IMS는 첨단 공정의 EUV 개발에 필요한 멀티 빔 마스크 툴을 주로 생산하는 곳입니다. 이번 투자로 High NA EUV 등의 새로운 패터닝 시스템 전환에 도움이 될 것으로 기대하고 있습니다.
https://www.intel.com/content/www/us/en/newsroom/news/ims-investment-sept-2023-news.html#gs.52rq4d
